鎢燈絲掃描電鏡通過對電子槍內的鎢燈絲加高電壓，使電子槍處于熱激發狀態，在陽極作用下，處于熱激發的電子槍就可以激發出電子束。經過掃描線圈磁場的控制，電子束在樣品表面逐點掃描，激發出二次電子、背散射電子等物理信號，經探測器收集、放大器放大后，調制得圖像。
鎢燈絲掃描電鏡總發射電流和束斑都較大，抗干擾能力和穩定性都較好，低真空下可以對不導電樣品無荷電成像，可用于形貌觀察、顯微結構分析、斷口形貌分析，在材料、地質、礦產、冶金、機械、化學、化工、物理、電子、生物、醫學等領域都有廣泛的用途。
鎢燈絲掃描電鏡的其他一些有益措施：
1.新燈絲的表面可能吸附一定量的空氣、水汽，當它被安裝到電鏡鏡筒里時，會從燈絲表面緩緩釋放，影響鏡筒的真空度，腐蝕燈絲。因此，新燈絲在更換前要先經過“去潮、去氣”處理，可在電熱箱內放置數小時，然后放入透射電鏡底片抽氣室預抽氣數小時以除去新燈絲上吸附的殘余空氣和水汽。
2.干燥好的樣品若暫時不用，可放在干燥器或真空中保存，樣品粘臺后最好放入透射電鏡底片抽氣室預抽氣數小時再放入電鏡觀察。
3.飽和點調低一點，滿足要求即可。掃描電鏡鎢燈絲有兩個飽和點：第2飽和點用于高分辨率觀察照相，如果對圖像要求不高或做，可以在第一飽和點工作，這樣可以延長燈絲的壽命。
4.高真空抽到后等幾分鐘，讓真空度更高。換樣品放氣前等幾分鐘，讓燈絲冷卻下來再放氣，避免過熱燈絲與大氣接觸氧化燈絲。
5.加速電壓不宜用得過高，滿足要求即可，能用低電壓就不用高電壓。放大倍數不超過一萬倍時一般15-20Kv就可以了。同時，應保持工作電壓與工作距離的相對穩定，如無特殊需要，不要經常更換電壓與工作距離。因為頻繁更改電鏡工作參數不利于電鏡穩定工作。
6.平時盡量少頻繁開關燈絲，次數過多對燈絲不利。通過以上措施，不僅可以大大減少維護費用，同時很好的保證了電子顯微鏡的高效、穩定運行。
